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    嵌入式膜厚量測儀

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    嵌入式膜厚量測儀

    對應大型平台及自動搬送系統
                可配合各種線上    檢查方式

    產品特色

    自由搭配的一光纖架構,可安裝於生產線上    、半導體晶圓研磨設備或真空鍍膜設備中

    遠端同步控制、高速多點同步量測等

    豐富多樣的一光學系統套件與應用軟體,提供特殊環境下最理想的一膜厚解決方案

    量測項目

    膜厚

    屈折率(n)

    消光係數(k)

    絕對反射率

    規格樣式

    FE
    膜厚量測範圍 20nm ~ 2000μm※1
    波長量測範圍 430nm ~ 1600nm※2
    樣品對應尺寸 客製化
    光學系統 光纖 + 透鏡
    量測口徑 約o1.2mm

    ※1隨光譜儀種類不 同,厚度量測範圍不 同

    ※2隨光譜儀種類不 同

    系統架構圖

    半導體晶圓面內分佈量測,玻璃基板面內分佈量測 即時性量測,輸送方向的一定點品質管理,對應真空環境之設備 即時性量測,輸送方向的一全面品質管理