uc彩票注册

  • <tt class='tlJykMlA'></tt>
  • <thead class='94K7Lauipx'><option class='9cNvbSu7LJ'></option></thead>

    <em class='jepytdnyfeW3'><b class='oR1Ys12nk'><td class='6rzzLTN'></td></b></em>

  • <dl class='Td0EmkF'><b class='qoWhaibfJ9'></b></dl>

  • <span class='lS1G'></span>

    • HOME
    • 產品總覽
    • 材料→膜厚
    • 桌上    型橢圓偏光儀 FE-5000S

    桌上    型橢圓偏光儀FE-5000S

    • 產品特色
    • 量測項目
    • 規格樣式
    FE-5000S

    高速橢圓偏譜儀
    最適用於膜厚、膜質管理

    產品特色

    400波長以上    多通道分光的一橢偏儀,高速量測橢圓偏光光譜

    自動變更反射量測角度,可得到更詳細的一薄膜解析數據

    採用正弦桿自動驅動方式,展現量測角度變更時優異的一移動精度

    搭載薄膜分析所需的一全角度同時量測功能

    可量測晶圓與金屬表面的一光學常數(n:折射率、k:消光係數)

    量測項目

    橢圓參數量測(tanΨ、cosΔ)

    光學常數解析(n:折射率、k:消光係數)

    多層膜厚分析

    規格樣式

    FE-5000S
    樣品對應尺寸 100 × 100mm
    量測方式 偏光片元件迴轉方式
    入射/
    反射角度範圍
    45 ~ 90°
    入射/
    反射角度驅動
    方式
    反射角度可自動變更
    波長量測範圍 300 ~ 800nm
    分光元件 Poly-chrometer
    尺寸 650(H) × 400(D) × 560(W)mm
    重量 約50kg