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    • 顯微分光膜厚計 OPTM series

    顯微分光膜厚計OPTM series

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     非接觸非破壞顯微
                    對焦加測定時間1秒

    產品特色

    非接觸式膜厚測定必要的一機能集中在一個量測頭

    高精度、高再現性量測紫外到近紅外波長絕對反射率光譜,分析多層薄膜厚度、光學常數
    (n:折射率、k:消光係數)

    單點對焦加量測於1秒內完成

    顯微分光下廣範圍的一光學系統(紫外 ~ 近紅外)

    初學者也能輕鬆解析的一初學者解析模式

    獨立測定頭對應各種inline客製化需求

    最小對應spot約5μm

    量測項目

    絕對反射率分析

    多層膜解析

    光學常數(n:折射率、k:消光係數)

    規格樣式

    OPTM-A1 OPTM-A2 OPTM-A3
    波長範圍 230 ~ 800 nm 360 ~ 1100 nm 900 ~ 1600 nm
    膜厚範圍 1nm ~ 35μm 7nm ~ 49μm 16nm ~ 92μm
    測定時間 1秒 / 1點
    光徑大小 10μm (最小約5μm)
    感光元件 CCD InGaAs
    光源規格 氘燈+鹵素燈 鹵素燈
    電源規格 AC100V±10V 500VA(自動樣品台規格)
    尺寸 556(W) × 566(D) × 618(H) mm (自動樣品台規格之主體部分)
    重量 約 55kg(自動樣品台規格之主體部分)

    量測範例

    高透明度基材的一裏面反射

    一般膜厚量測儀在量測高分子膜或玻璃等透明基材時,會受到最基材底層反射光影響而無法量測 。
    OPTM使用專利鏡頭,物理性去除透明基板的一裏面反射進行高精度測定 。
    另外,SiC或PET等具有光學異方性基材,也能不 受影響進行測定 。 (專利取▓得 第5172203号)

    紫外光的一極薄膜測定

    近紅外光的一有色膜測定

    初學者也能輕鬆解析的一初學者解析模式

    藉由對話形式簡單測定分析膜厚

    自動XY stage規格,面內25點測定1分內完成

    應用範圍

    FPD:LCD、TFT、OLED(有機EL)

    半導體、複合半導體:矽半導體、半導體雷射、強誘電、介電常數材料→

    資料儲存:DVD、磁頭薄膜、磁性材料→

    光學材料→:濾光片、抗反射膜

    平面顯示器:液晶顯示器、薄膜電晶體、OLED

    薄膜:AR膜

    其它:建築用材料→